助力第三代半导体可靠性 | 广电计量出席2022白石山第三代半导体峰会

文：第三代半导体产业技术创新战略联盟、马云飞

图：第三代半导体产业技术创新战略联盟

 2022年8月6日，由保定市人民政府、河北省科学技术协会、河北省发展和改革委员会、河北省工业和信息化厅、河北省科学技术厅、第三代半导体产业技术创新战略联盟联合主办，保定国家高新区管委会、保定市科学技术协会、保定市发展和改革委员会、保定市工业和信息化局、保定市科学技术局、涞源县人民政府承办的2022白石山第三代半导体峰会在河北涞源顺利召开。

中国院士、中国副院长、中国大学党委书记、校长李树深，中国院士、北京大学教授甘子钊，中国工程院院士、清华大学教授罗毅等院士专家；河北省政府党组成员、副省长胡启生的省直部门及央企；中国国电集团公司原副总经理、党组成员张成杰, 国家新材料产业发展专家咨询委员会委员、第三代半导体产业技术创新战略联盟理事长吴玲,北京大学理学部副主任、宽禁带半导体研究中心主任、CASA副理事长沈波, CASA副理事长兼秘书长、中科院半导体所原副所长杨富华，以及其他来自相关政府部门、科研院校、企业的与技术专家通过线上、线下的方式参与了开幕式。

保定市委副书记、市政府市长闫继红主持峰会开幕式。广电计量作为第三代半导体检测领域的重要参与者，受邀参与此次活动并做主题演讲。

技术专家与嘉宾发言

白石山第三代半导体峰会始于2021年，是由保定市人民政府和第三代半导体产业技术创新战略联盟共同发起、在保定涞源打造的峰会，为政府、专家学者、企业搭建了共商第三代半导体技术应用、投资以及发展相关问题的高层对话平台。本次会议以“同‘芯’共赢"为主题，瞄准国家重大战略需求及产业链需求，结合推进碳中和及发展新兴产业的要求，探讨第三代半导体技术与应用。

广电计量在第三代半导体领域构筑了较为全面的检测能力，具备丰富的检测经验。作为第三方检测机构代表，广电计量元器件筛选与失效分析中心总监、第三代半导体技术副总监李汝冠博士向与会嘉宾做《第三代半导体功率器件检测技术发展》报告，详细阐述了Si基器件标准应用于第三代半导体检测情况以及第三代半导体器件检测新需求。他指出，第三代半导体优势明显、应用广泛，是半导体行业发展的核心方向，如何应用新的方式对第三代半导体进行质量及可靠性的评估与准确测量，是未来第三方检测行业的重要机遇和挑战。

基于广电计量丰富的第三代半导体器件检测经验，李汝冠提出基于传统半导体的检测技术及检测标准（如AEC-Q101）进行直接应用，以暴露第三代半导体器件的薄弱环节；并依据第三代半导体的特殊性，引入针对第三代半导体器件的测试方法，如SiC MOS的栅极氧化层可靠性测试、偏压温度不稳定性测试、体二极管双极性退化测试、阈值电压测试、GaN HEMT的动态导通电阻测试等方法。同时，针对第三代半导体器件的测试方法，需增加动态应力试验，以触发在遵循标准的静态试验中观察不到的失效机制，为第三代半导体企业的可靠性检测提供了重要的思路建议。

广电计量技术专家做主题报告

北京大学东莞光电研究院院长、北大宽禁带半导体研究中心原主任张国义，中国半导体所党委副书记、书记樊志军，中国半导体研究所副所长张韵，国家第三代半导体技术创新主任张鲁川，国基北方总经理、十三所常务副所长崔玉新，火炬中心高新技术产业发展处副处长陈彦等专家代表也参与了此次活动。51万余人次在线观看了峰会直播。

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第三代半导体在新基建七大领域都有其广泛的应用前景。党、高度重视第三代半导体发展，将其列入国家重点规划和科技专项支持。而检测是提高半导体器件质量与可靠性的重要保障。广电计量作为国有第三方检测机构，在我国第三代半导体发展过程中，秉承国企担当，在光电子、电力电子、微波射频等第三代半导体三大应用领域构筑了较为全面的检测能力。

公司在第三代半导体检测领域（SiC、GaN）合作客户20余家，检测样品数量百批次、数量数万只。其中在光电子检测领域合作客户数十家，涉及型号近百个；在电力电子领域，覆盖了现行所有可靠性测试标准，单在SiC领域合作客户十余家，是国内SiC检测度广、技术能力的第三方检测机构之一；在微波射频领域，助力完成车规标准的微波射频的测试，并向更高频率、更高功率领域布局。